金融界 2024 年 7 月 12 日音书，天眼查常识产权音讯显示，沈阳芯源微电子装备股份有限公司申请一项名为“一种加热槽体安装及半导体工艺装备”，公然号 CN4.6，申请日期为 2024 年 4 月。

　　专利摘要显示，本发现公然了一种加热槽体安装及半导体工艺装备，蕴涵：槽体，所述槽体中容纳有药液，所述槽体用于对放入静止形态下的所述药液中的处分对象举办恒温静置浸泡处分；加热模块博鱼boyu官网博鱼boyu官网，设于所述槽体的表壁上，所述加热模块用于通过对所述槽体的表壁举办直接加热，以将热能通过所述槽体的表壁向内匀称通报给所述药液，使所述药液获得匀称受热，以使得静置于所述药液中的所述处分对象处于恒温形态下授与所述浸泡处分恒温，从而有用途分了现有本事存正在的亏空，并正在无需增长正在线加热器的境况下博鱼boyu官网博鱼boyu官网博鱼boyu官网芯源微申请“一种加热槽体装备及半导体工艺装备“专利使惩罚对象处于恒温状况下继承浸泡惩罚，充溢满意了浸泡处分时的静置保温条件博鱼boyu官网。

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